有因缘造作之法，叫做有为法，无因缘造作之法，即叫做无为法。在五位百法中，前面的九十四法，皆是有生灭变异的有为法，最后六法，才是清净寂灭的无为法，也叫做真如实相。真如实相本来不一不异，为何又分出六法？盖六种中的前五种，或依其原因而说，或约其作用来讲，只有最后的真如无为才是无为法的本体。
一、虚空无为，虚空遍一切处，既是虚空，自然无生灭变化，故名虚空无为；
二、择灭无为，择是拣择，灭是寂灭，又名涅槃，择灭无为就是用真正的智慧去选择佛法，修成涅槃之果，证入无为之境；
三、非择灭无为，一切有为法，皆是仗因托缘而生起的，如果没有能生之缘，或有因而无缘，则毕竟不生，这就是非择灭的意思。再者，无为法的法性，自体本来清净，没有烦恼，既然没有烦恼，也就用不著去拣择智慧来灭除，这也就是所谓的非择灭无为；
四、不动无为，说的是色界第四禅的禅定情形。佛经说，世界进入坏劫时，发生火水风大三灾，动摇全世界，唯有四禅天，火水风三灾都不能到达，这种三灾不至，烦恼不生所显现的无为，就叫做不动无为；
五、想受灭无为，想是想像，受是感受，也就是五蕴中之受、想二蕴，佛教所说的最高禅定叫做灭尽定，又叫做灭想受定，想、受不起了，无为境界就会显现，这种一切想、受都不生的无为境界，就是想受灭无为；
六、真如无为，真者真实不虚，如者如常不变，这种既真实不虚而又如常不变的真如理体，就是诸法没有生灭的无相无不相的真如实相，断除了我、法二执，才能证得真如无为。