梵语 tri-samayah。(一)三者皆为三昧耶之意。三昧耶，平等之义。如谓身、语、意三密等诸种三法平等而圆融无碍，称为三三昧耶，故又称三平等。另如心智悲、佛法僧、法报应三身等亦皆称三三昧耶。［大日经卷六三三昧耶品、大日经疏钞卷四、大日经义释演密钞卷十］
(二)三种三昧耶，即密教修胎藏法时之入佛三昧耶、法界生、转法轮等三部三昧耶之印明。即：(一)入佛三昧耶，表示托佛之圣胎，成为佛子，而入于如来平等戒之义。(二)法界生，表示既具足圣胎，生于佛家，无尽庄严悉与如来平等之义。(三)转法轮，表示佛子生长，成金刚萨埵，具足二利之金刚事业，无尽庄严悉与如来等同之义。如是，三种印明皆具平等之义，故称三三昧耶。三昧耶，又称三摩耶，具有平等、本誓、除障、惊觉等四义。［大日经卷二具缘品、大日经疏卷九、胎藏入理钞卷上］（参阅“三摩耶”672）
(三)三部三昧耶之略称。指密教胎藏界之莲华部三昧耶、金刚部三昧耶、佛部三昧耶。(一)莲华部三昧耶，指自身中本有的清净菩提心之理，此理虽存于六道四生之生死泥中，然不染不垢，犹如泥中之莲，故称莲华部三昧耶。(二)金刚部三昧耶，指本有理心之智，此智没在生死海中，虽经无数劫，然不朽不坏，而可破诸烦恼，犹如金刚之破怨敌，故称金刚部三昧耶。(三)佛部三昧耶，前二部犹属凡位，故理智未显；若理智具足，觉道圆满，则称佛部。又前二部为在缠之因位，佛部则为出缠之果位。上记系胎藏界之说相，若于金刚界中，则于三部之外，另加宝部、羯磨部，而为五部三昧耶。 p522