又作五重唯识观。法相宗以诸法均由观识转变而来，持此观法，将唯识体之浅深粗细次第分为五重，此即五重唯识观。又见道以前之相似观有五重层次，但在见道真观，达到第一重之唯识观时，即可立证真如。
五重唯识观为窥基所创，即：(一)遣虚存实识，遣，即遮遣，意为否定。在三性中，遍计所执为虚妄，体用皆无，故舍遣之；以依他、圆成为诸法之体相与实性，以其为真实，故存留之，并观此二性乃唯识之所现，此为第一重唯识观。(二)舍滥留纯识，在第一重观之时，依他之事与圆成之理虽不离识，但内识中仍有客观之境界（相分）与主观之心（见分、自证分），心唯内有，境亦通外，为恐相分之内境与心外之境混淆，无法得到正观，故须舍境留心，此为第二重唯识观。(三)摄末归本识，在第二重观之时，虽已舍离心境相对之滥境，然所留之心法仍有识自体（自证分）之本与作用之末（见相二分）的分别，因末离本则不存在，故摄末归于本，此为第三重唯识观。(四)隐劣显胜识，心王和心所之自体，虽同样变现见相二分为能缘、所缘，然心所仅为心王之伴属，作用较劣，故须隐蔽较劣之心所而彰显较胜之心王。此为第四重唯识观。(五)遣相证性识，第四重时，虽已显存心王，但心王有事、理之别（事为相用之依他起性，理为性体之圆成实性），故须遣依他之相用，证圆成之实性。此为第五重唯识观。
以上乃对心王而说，若从一般观点视之，在心王、心所、色法、不相应行法、真如等五法之事理上，亦应遣前四重，而证第五重。复次，以上五重乃在说明悟入三性之层次，故离三性观则不存在。
又五重中之第一重为总观，后之四重为别观。又前四重乃观现象识之相唯识，为见道以前之修法；第五重为观真如唯识之性唯识，乃见道以后之修法。［般若心经幽赞卷上、大乘法苑义林章卷一末、成唯识论了义灯卷一本、唯识义章卷一末、卷二本、大乘法相宗名目卷五下］ p1123